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热式气体质量流量控制器
热式气体质量流量控制器
更新时间:2013-04-20
点击次数:2631
热式气体质量流量控制器 型号;DP-S48 32/HMT
编号
项目
DP-S48 32/HMT
1
流量规格
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(1,2,3,5,10,20,30)L/min
2
调节阀类型
电磁调节阀
3
调节阀静止状态
常闭
4
安装方向
意
5
流量控制范围
2%-
6
流量测量范围
(0-100)%
7
零点温漂
0.6%F.S.(15~35℃)
8
响应时间
2s(T98,设定值的±2%F.S.)
9
作环境温度
5~50℃
10
度保证温度
15~35℃
11
度
±1.0%F.S
12
线性
±0.5%F.S
13
重复度
±0.2%F.S
14
作压差范围
~5L/min:(0.05-0.3)MPa
10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa
15
耐压
3MPa
16
漏率
1×10
-8
Pa.m
3
/s(He)
17
管路接头
1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm
18
供电电源
±15VDC(±5%) +
15V,100mA;
-15V, 200mA
19
设定信号
(0-5)VDC
输入阻抗>1MΩ
20
流量输出信号
(0-5)VDC
负载输出电流能力≤3mA
21
电气接头
D-SUB15
22
尺寸 (mm)
113(宽)
×121
()
×32(厚)
北京亚欧德鹏科有限公司
:
010
-
51298264/51717270/
:曹
地址:北京市海淀区阜成路4
2
号院
12
号楼
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